產品介紹:粒形分析儀是采用動態(tài)圖像法原理設計生產的顆粒計數(shù)器,其主要的功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數(shù)量、顆粒形狀、不同形狀顆粒的數(shù)量濃度等,如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。M3000型號產品完全可以查看任意通道顆粒的數(shù)量,如1μm、2μm、5μm等顆粒濃度。
不同形狀的顆粒對拋光效果和良率有明顯差異,粒形的控制是Slurry生產過程需要控制的重要參數(shù)。
設備原理:流式圖像法
測試范圍:0.5μm-1000μm
通道數(shù):1024個數(shù)據通道
產品功能:顆粒計數(shù)、粒度分布、測試數(shù)量濃度、顆粒形狀分析
檢測方式:離線或在線
全自動稀釋,無需人工稀釋
用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測
球形度數(shù)據
頓度數(shù)據小結:
1)顆粒的球形度對CMP拋光效率有影響
2)顆粒的頓度對CMP拋光良率有很大影響,頓度越大良率受影響越大