產品介紹:粒形分析儀是采用動態圖像法原理設計生產的顆粒計數器,其主要的功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數量、顆粒形狀、不同形狀顆粒的數量濃度等,如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。M3000型號產品完全可以查看任意通道顆粒的數量,如1μm、2μm、5μm等顆粒濃度。
不同形狀的顆粒對拋光效果和良率有明顯差異,粒形的控制是Slurry生產過程需要控制的重要參數。
設備原理:流式圖像法
測試范圍:0.5μm-1000μm
通道數:1024個數據通道
產品功能:顆粒計數、粒度分布、測試數量濃度、顆粒形狀分析
檢測方式:離線或在線
全自動稀釋,無需人工稀釋
用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測
球形度數據
頓度數據小結:
1)顆粒的球形度對CMP拋光效率有影響
2)顆粒的頓度對CMP拋光良率有很大影響,頓度越大良率受影響越大