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納米粒度和ZETA電位分析儀

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納米粒度和ZETA電位分析儀

產品介紹：納米粒度及zeta電位分析儀是用來測試CMPSlurry納米顆粒粒度分布和zeta電位值的分析儀，粒度分布會影響藥液的CMP效率，zeta電位值的大小用來表征藥液整體穩定性，zeta電位的越大，藥液穩定性越高。測試SiO2、Al2O3等藥液粒度分布D10、D50、D90等參數。原理介紹：1、粒度測量動態光散射(DLS)法原理：當激光照射到分

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品種介紹
技術規格

產品介紹：納米粒度及zeta電位分析儀是用來測試CMPSlurry納米顆粒粒度分布和zeta電位值的分析儀，粒度分布會影響藥液的CMP效率，zeta電位值的大小用來表征藥液整體穩定性，zeta電位的越大，藥液穩定性越高。測試SiO2、Al2O3等藥液粒度分布D10、D50、D90等參數。

原理介紹：

1、粒度測量

動態光散射(DLS)法原理：當激光照射到分散于液體介質中的微小顆粒時，由于顆粒的布朗運動引起散射光的頻率偏移，導致散射光信號隨時間發生動態變化，該變化的大小顆粒的布朗運動速度有關，而顆粒的布朗運動速度又取決于顆粒粒徑的大小，顆粒大布朗運動速度低，反之顆粒小布朗運動速度高，因此動態光散射技術是分析樣品顆粒的散射光強隨時間的漲落規律，使用光子探測器在固定的角度采集散射光，通過相關器進行自相關運算得到相關函數，再經過數學反演獲得顆粒粒徑信息。

2、ZETA電位測量

ZETA電位是表征分散體系穩定性的重要指標ZETA電位愈高，顆粒間的相互排斥力越大，膠體體系愈穩定，因此通過電泳光散射法測量ZETA電位可以預測膠體的穩定性。

測量角度：175°、90°、11°

粒度范圍：0.3nm-15μm

ZETA電位范圍：-600mV - +600mV

最大電導率：270mS/cm

粒徑范圍：3nm~120μm

激光器：15/50mW 532nm

雙峰粒度分布 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 三峰粒度分布

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