產品介紹:大顆粒計數分析儀是采用光阻法原理設計生產的顆粒計數器,其主要的功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數量等,如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數量,如1μm、2μm、5μm等。
設備原理:光阻法
產品功能:顆粒計數、粒度分布、測試數量濃度

檢測方式:離線或在線
數據通道: 1024個
自定義通道: 64個
數據濃度上限可達1x 10
檢測范圍廣,0.5μm - 400μm
模塊化設計,便于升級及維護
用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測
全自動進樣、自動稀釋、自動檢測、自動清洗、數據分析